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第四百一十一章 适用于碳基芯片的光刻胶（第1页）

石墨烯单晶材料完成，韩元通过特殊的手段将这块石墨烯单晶材料切割成了大小合适的晶圆并保存了起来。

这些晶圆后续经过处理后，可以用于制造碳基芯片，他自然不会扔掉。

石墨烯单晶材料完成制备，花费了一些时间，韩元将制备碳基芯片需要的碳纳米管材料、高纯度碳化硅晶材等材料一起制造了出来。

制造碳基芯片的一系列的基础原材料都处理好制备出来后，接下里的工作自然是制造各种需要的设备了。

其中就有关键的光刻机和光刻胶。

......

碳基芯片和硅基芯片不同又相同。

不同的是碳基芯片在中低端芯片上的处理可以不使用光刻机处理。

通过一些特殊的手段，比如激光蚀刻、化学气相沉积等方法就可以在芯片内部构建出一个个的晶体管。

但这些特殊方式的局限性都很大，在精度方面都有上限。

比如激光蚀刻法在晶圆上蚀刻电路的精度极限就是微米级，要在降低的话，使用这种方法就容易烧穿晶圆电路中的栅极和沟道，进而导致芯片报废。

所以碳基芯片要达到纳米级别，光刻机是无论如何都绕不过去的一个门槛。

华国研究碳基芯片想要在这条路上实现弯道超车，也并非是因为碳基芯片不需要光刻机光刻胶这些东西。

而是在韩元没有出现以前，如果能走通碳基芯片这条路，那么可以暂时性的绕开光刻机光刻胶这些东西。

通过这种手段，将国内制造的芯片在性能上拉到和国外顶级芯片一样的高度上，进而打破国外的封锁。

只有打破了封锁，能够实现自给自足，才能有足够的时间、精力、资本去研究更深一层次的东西。

这才是所谓的‘弯道超车’，而不是所谓的直接一步登天，超越米欧。

毕竟顶级的光刻机可是集整个西方国家几十年精力的科技产物，代表了人类工业化制造的最高水平，怎么可能就被人随随便便就超越了。

当然，像韩元这种直接开挂的除外。

........

模拟空间中，又是一日清晨，韩元从床上起来后打点了一下生活，而后开启了直播，收到订阅消息的观众进入直播间，纷纷和他打着招呼。

从工作室中出来，韩元手中携带了几卷纸张。

虽然中央计算机已经升级了两次，也足够将各种图纸录制到里面了，但长久以来的习惯还是让韩元将各种设计图在纸张上刻画了下来。

只不过随着科技的攀升，现在每一种设备需要的图纸数量都远超从前。

以前的一台发电机四五张图纸就能全部搞定，连各种零配件都能画出来并且标记上详细的数据。

但现在他手中拿着的光刻机图纸，光是纸张数就有大几十张，而且这还并非是详细的。

如果说要将光刻机的所有零配件已经需要使用的材料、对应的各种参数都写出来的话，别说几十张图纸了，可能几百张图纸都搞不定。

这种现代化的顶级工业产物，其复杂度之高，设计之精妙，常人难以想象。

带着从工作室中取出来的光刻机图纸，韩元一路来到加工厂。

这里无论是厂房还是各种工业设备都经过了升级，大部分的工业设备中都带着工业芯片，可以通过中央计算机进行控制。

韩元将手中的图纸放在桌上，精准的找到其中一卷，而后铺开，图纸上绘制的光刻机零部件图案展露在直播间中。

“这是用于碳基芯片加工的光刻机图纸的一部分。”

图纸铺开，韩元说道：“和加工硅基芯片有些不同，加工碳基芯片的光刻机在零配件上有一些调整，调整的部分主要是光源部分以及透镜部分。”

“这两大模块做了一定的修改，以便适应于碳基芯片的光蚀。”

“比如修改后的光刻机的光源，虽然还是使用的极紫外光，但它采用一种叫做‘离轴照明’技术。”

“和原先的硅基芯片光刻机相比，这种‘离轴照明’技术可以在一定程度上提高分辨率、可以提升焦深、可以提高对比度等等。”

“更适合碳基芯片的光蚀。”

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